X熒光光譜儀是用來測定物質中元素的種類和含量的儀器，大家都知道物質是由元素構成的，每一種元素的原子能級結構是特定的，躍遷時產生的特征X射線的能量也是固定的(兩軌道電子殼層的能量差)。因此通過測定特征X射線的能量，便可以確定相應元素，而特征X射線的強弱則代表該元素的含量。
X熒光光譜儀的校準標準有三種：一是拉氏(LAR)標準液，即由美國芝加哥大學準備的稀釋液，其主要元素有銅、鋅、鉛、釩和鎳。二是國家行業標準，即政府出臺的行業標準樣板，其元素包括鈣、鈦、鋁、鉛、鈷、鐵等等。三是國際標準，經過定期測試，由國際標準編制機構編制的元素標準，是為各國根據就儀器技術要求和環境要求所制訂的。
正確選擇、調整合適的標準是非常關鍵的，它可以提高X熒光光譜儀的測量效果，也可以使測量的數據更加準確，避免測量出現偏差等問題。因此，當使用X熒光光譜儀時，一定要保證標準的正確性，以便得到準確的測定結果，這也是X熒光光譜儀能成為定量分析儀器的關鍵。
